發(fā)布時(shí)間： 2022-08-17 點(diǎn)擊次數： 1391次
掃描電鏡全稱(chēng)為掃描電子顯微鏡，由于它具有制樣簡(jiǎn)單、放大倍數可調范圍寬、圖像的分辨率高、景深大等特點(diǎn)，故被廣泛地應用于化學(xué)、生物、醫學(xué)、冶金、材料、半導體制造、微電路檢查等各個(gè)研究領(lǐng)域和工業(yè)部門(mén)。
掃描電鏡是用來(lái)測樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀(guān)成像。
掃描電子顯微鏡(SEM)是一種介于透射電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種觀(guān)察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來(lái)掃描樣品，通過(guò)光束與物質(zhì)間的相互作用，來(lái)激發(fā)各種物理信息，對這些信息收集、放大、再成像以達到對物質(zhì)微觀(guān)形貌表征的目的。
新式的掃描電子顯微鏡的分辨率可以達到1nm；放大倍數可以達到30萬(wàn)倍及以上連續可調；并且景深大、視野大、成像立體效果好。
此外，掃描電子顯微鏡和其他分析儀器相結合，可以做到觀(guān)察微觀(guān)形貌的同時(shí)進(jìn)行物質(zhì)微區成分分析。掃描電子顯微鏡在巖土、石墨、陶瓷及納米材料等的研究上有廣泛應用。因此掃描電子顯微鏡在科學(xué)研究領(lǐng)域具有重大作用。
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