掃描電鏡制樣：保證掃描電鏡樣品清潔有多重要？

掃描電鏡（SEM）主要用于微觀(guān)形貌分析，其測試結果的好壞，一方面是由儀器的性能、測試條件和操作人員水平?jīng)Q定，另一方面還與樣品制備過(guò)程有關(guān)。

掃描電鏡（SEM）樣品需要保持清潔、無(wú)污染物，盡量把污染程度降到zui低。因此要求我們在拿取與制備樣品時(shí)需要佩戴干凈無(wú)粉手套，使用的剪刀、鑷子等制樣工具亦要保持干凈。

保持掃描電鏡（SEM）制樣工具干凈

如果在樣品制備過(guò)程中，不注意保持清潔，用裸手拿取樣品，手上的油脂灰塵會(huì )污染樣品。如下圖所示，裸手接觸干凈鋁箔表面后，可以觀(guān)察到明顯的污染物。通過(guò)能譜面掃分析，發(fā)現污染顆粒主要成分為碳和氧，由此推斷該污染物主要為油脂。

掃描電鏡下干凈鋁箔表面

掃描電鏡下裸手觸摸過(guò)的鋁箔表面

表面污染物能譜面掃結果分析

被裸手污染過(guò)的掃描電鏡（SEM）樣品會(huì )直接影響形貌和能譜測試結果，針對一些金相樣品，如果表面被裸手觸摸過(guò)，有明顯油污和灰塵，放入掃描電鏡觀(guān)察前，先用乙醇等有機溶劑超聲清洗，烘干處理后即可。

掃描電鏡樣品制備過(guò)程中，也需要防止唾液污染樣品，必要時(shí)配戴口罩。當操作員對著(zhù)樣品說(shuō)話(huà)或打噴嚏，會(huì )將唾液濺射到樣品表面，待唾液干燥后，會(huì )在樣品表面形成明顯的結晶。

如掃描電鏡（SEM）圖片所示，唾液干燥后會(huì )在樣品表面形成明顯的結晶，亦會(huì )影響樣品形貌和成分分析。這些晶體經(jīng)能譜分析，其主要成分為氯、鉀元素，含有少量納、磷等元素。

不同放大倍數下唾液對樣品的污染

唾液晶體能譜分析結果

樣品保存過(guò)程中也要保持干凈無(wú)塵，灰塵落到樣品表面亦會(huì )影響電鏡觀(guān)察結果。因此樣品不觀(guān)察的時(shí)候，需要放置在干凈的密封盒中，同時(shí)要求電鏡放置環(huán)境干凈無(wú)塵。

掃描電鏡下灰塵顆粒對樣品的影響

保持樣品的清潔，就是保持掃描電鏡（SEM）結果的準確性和可靠性。